GB/T 43965-2024 电子级正硅酸乙酯

范围
本文件规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酯的技术要求、检验规则、型式试验、标志、包装、运输及贮存的要求，描述了试验方法、分析方法与测定结果评价。
本文件适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。

术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。

技术要求
电子级正硅酸乙酯应符合表1的规定。




试验方法
试验环境
水分测试在氮气保护的手套箱中进行，箱内参数压力设定为0.42mbar，氧含量的体积分数不大于2×10^-0，水含量的体积分数不大于2×10^-6。

水分含量的测定
应按 GB/T 26793 中的规定执行。
可采用其他等效的方法测定正硅酸乙酯中水含量。当测定结果有异议时，按 GB/T 26793 规定的方法为仲裁方法。
GB/T 26793-2011 库仑法微量水分测定仪


京都电子KEM 库仑法卡尔费休微量水分测定仪 MKC-710S