T/CSTM 01148-2024 电子级氨水

范围
本文件规定了电子级氨水的分级与命名、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件、安全信息。
本文件适用于以工业级液氨和超纯水为原料，经纯化制得的电子级氨水。主要用作集成电路(半导体)、印刷电路板等制程用化学品。
CAS号：1336-21-6
分子式：NH3·H2O
相对分子质量：35.05(按2022年国际相对原子质量)

术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。

分级及命名
电子级氨水分为I级、II级和III级共3个等级。I级电子级氨水标记为：UP-I；II级电子级氨水标记为：UP-II；III级电子级氨水标记为：UP-III。
注：UP-II级和UP-III级主要用于半导体常规制程及高制程面板行业，UP-I级主要用于半导体先进制程行业。

技术要求
电子级氨水的技术指标应符合表1的规定。






试验方法
氨含量的测定
方法提要
采用电位滴定法，用盐酸标准滴定溶液滴定样品中的氨。
试剂和材料
盐酸标准滴定溶液：c(HCl)≈0.5mol/L。
仪器和设备
分析天平：感量为0.0001g。
电位滴定仪：按 GB/T 9725-2007，5, 仪器和装置中规定，或具备同等构造与精度的仪器。电极：按 GB/T 9725-2007 中规定的复合电极或玻璃-饱和甘汞电极。
测定步骤
量取60mL水于烧杯中，称取约1g的样品(精确至0.0001g)，用盐酸标准滴定溶液滴定，电位随滴定剂变化率dU/dV最大点为其滴定终点。
结果计算
氨(NH₃)含量(w)，按式(1)计算， 数值均以%表示：

式中：
V ——滴定试验溶液所消耗盐酸标准滴定溶液的体积数值，单位为毫升(mL)；
C ——盐酸标准滴定溶液浓度的准确数值，单位为摩尔每升(mol/L)；
M ——氨水摩尔质量的数值，单位为克每摩尔(g/mo])[M(NH3)=17.03]；
m ——试样质量的数值，单位为克(g)。


京都电子KEM 自动电位滴定仪 AT-710S